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名称 |
内容 |
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测量 范围 |
Z轴 （垂直） |
160μm |
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X轴 （水平） |
17.5mm |
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分辨率 |
Z轴 （垂直） |
0．002μm/±20μm |
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0．004μm/±40μm |
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0．008μm/±80μm |
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测量 项目 |
参数 |
Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt Rmax Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Rs Rsk Rku Rsm Rmr RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2 |
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标准 |
ISO,ANSI,DIN,JIS |
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图形 |
支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓 |
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滤波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
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取样长度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
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评定长度（ln） |
Ln= lr×n n=1~5 |
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传感器 |
测量原理 |
位移式差动电感 |
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触针 |
天然金刚石，90锥角，5μm\2μm针尖半径 |
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测力 |
<4mN |
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导头 |
硬质合金，滑行方向半径40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s |
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lr=0.8, Vt=0. 5mm/s |
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lr=2. 5, Vt=1mm/s |
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返回 Vt=1mm/s |
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示值精度 |
0.001μm |
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示值误差 |
±（5nm+10%A）A:多刻线样板参数Ra的标准值（不大于±10%） |
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示值重复性（变动性） |
不大于3% |
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残余轮廓 |
不大于0.010μm |
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电源 |
内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电 |
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外形尺寸 |
158x63.5x46mm |
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重量 |
约300g |
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工作环境 |
温度：- 20℃ ~ 40℃ 湿度：< 90% RH |
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储存运输环境 |
温度：- 40℃ ~ 60℃ 湿度：< 90% RH |
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主要特点
